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Vista 200

Le microscope à force atomique Vista 200 est une solution avancée spécifiquement conçue pour l’analyse des semi-conducteurs.

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Le microscope à force atomique Vista 200 est une solution avancée spécifiquement conçue pour l’analyse des semi-conducteurs.

Doté d’une platine d’échantillon de 200 mm × 200 mm, ce microscope est idéal pour l’analyse précise des plaquettes ou des masques photographiques utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa configuration polyvalente, il peut être équipé soit d’un mandrin sous vide avec des aimants, soit d’un support spécialisé pour masques EUV, s’adaptant ainsi aux besoins spécifiques de votre application.

Ce microscope offre des performances exceptionnelles tout en préservant l’intégrité de vos échantillons grâce à son mode de fonctionnement non destructif. Le système PiFM fonctionne en mode de contact intermittent non destructif, évitant ainsi tout contact avec vos échantillons vierges, ce qui garantit qu’ils restent propres et intacts.

Grâce au logiciel d’analyse de données inclus, votre équipe peut traiter rapidement les mesures et obtenir des résultats prêts pour la présentation. L’intégration étroite avec  logiciel d’acquisition de données permet une analyse en temps réel, offrant ainsi les réponses dont vous avez besoin instantanément. De plus, l’API de script permet des recettes personnalisées pour répondre à vos besoins spécifiques, et nos fichiers ouverts facilitent l’intégration avec des logiciels tiers.

Functionality

  • Imaging modes: Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD (force vs distance) mapping.
  • Spectroscopy modes: PiF-IR, FvD.
  • PiF Laser Options: QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm−1).
  • Depth probed (IR): 20 nm in surface mode & greater than 100 nm in bulk mode.

Stage and scanner

  • Sample stage travel: 200 mm × 200 mm square.
  • Scan size: 120 µm × 120 µm.
  • Dual Z Feedback: 12 µm z-scanner with 600 nm fast-z scanner provides both high bandwidth and a large z-range

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