Physical Electronics (PHI) PHI 710

Le PHI 710 Scanning Auger Nanoprobe, proposé par Physical Electronics, partenaire de Milexia France, est un instrument unique et haute performance de spectroscopie électronique Auger (AES). Il fournit des informations sur la composition élémentaire et l’état chimique des surfaces d’échantillons, des structures à l’échelle nanométrique, des couches minces et des interfaces.

Conçu comme un système Auger haute performance, le PHI 710 offre des performances d’imagerie Auger exceptionnelles, une haute résolution spatiale, une excellente sensibilité ainsi qu’une résolution spectrale en énergie permettant de répondre aux applications AES les plus exigeantes.

Technologie unique

La géométrie coaxiale du canon à électrons et de l’analyseur offre la sensibilité et la visibilité dégagée nécessaires pour caractériser pleinement les microstructures présentes sur la plupart des échantillons réels.

Les données Auger sont obtenues sur toutes les faces des particules ainsi qu’entre les particules, avec une sensibilité tout aussi élevée, permettant de générer des cartographies Auger fournissant des informations pertinentes sur la composition.

• Imagerie d’échantillons texturés ou courbes sans effet d’ombre induit par l’analyseur

Imagerie Auger haute performance

Une optique électronique haute performance, une manipulation précise des échantillons ainsi qu’une isolation avancée contre les vibrations et les variations thermiques offrent un environnement optimal pour l’imagerie et l’analyse Auger à l’échelle nanométrique.

• Grossissements de travail de 500 000× et plus
• Enregistrement robuste des images pour l’analyse automatisée de microzones sans surveillance

Analyse des couches minces à l’échelle nanométrique

• Canon à ions à colonne flottante offrant une large gamme de capacités de profilage en profondeur
• Des énergies de faisceau ionique plus élevées (2 à 5 keV) permettent d’effectuer régulièrement le profilage en profondeur de structures de plusieurs micromètres d’épaisseur

• L’utilisation de tensions d’accélération plus faibles réduit le mélange dû à la pulvérisation, qui pourrait élargir les interfaces observées dans les structures de couches ultraminces (< 5 nm)

Plateforme logicielle moderne et facile à utiliser

• Plateforme logicielle Windows™ intuitive et entièrement intégrée, contrôlant toutes les fonctions de l’instrument
• Des onglets de session vous guident tout au long du processus d’analyse
• Interface parfaitement intégrée avec PHI MultiPak, le logiciel le plus complet disponible pour le traitement et l’interprétation des données de spectroscopie électronique

Nombreuses techniques et accessoires optionnels pour les expériences spécialisées

• Un faisceau d’ions focalisé à métal liquide (FIB) permet de réaliser in situ des coupes transversales de particules, défauts et revêtements
• Le détecteur de spectroscopie X à dispersion d’énergie (EDS) fournit des informations qualitatives et quantitatives sur la composition élémentaire. Ce détecteur sans fenêtre, piloté par logiciel et équipé d’un moteur, offre une courte distance de travail pour des angles d’acceptance élevés
• Le détecteur d’électrons rétrodiffusés (BSE) fournit des informations topographiques et de composition de l’échantillon grâce à un détecteur à quatre quadrants
• Le détecteur de diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) fournit des informations sur la structure cristalline et l’orientation des grains