Rigaku ONYX 3200
Le Rigaku ONYX 3200 est un système automatisé de détection des contaminations métalliques à haute sensibilité utilisant la technologie d’incidence rasante.
Le ONYX 3200 est la solution de métrologie hybride la plus avancée du marché. Il combine des technologies de micro-fluorescence X de seconde génération (μXRF) et d’inspection optique au sein d’une architecture à double tête. Cette configuration unique permet une détection des défauts très précise tout en offrant un débit élevé, idéal pour les environnements de production semi-conducteurs en ligne.
Conçu pour maximiser les performances et l’efficacité, le ONYX 3200 assure une caractérisation précise des matériaux, associée à une inspection optique haute résolution. Il permet ainsi de détecter, identifier et analyser les défauts sur une seule et même plateforme intégrée.
La gamme ONYX propose une approche globale de la métrologie sur l’ensemble du processus de fabrication des semi-conducteurs, du FEOL (Front-End-Of-Line) jusqu’au WLP (Wafer-Level Packaging). Elle est particulièrement adaptée aux applications d’advanced packaging, notamment pour l’analyse de bumps individuels.
Le système offre des performances éprouvées pour le suivi des compositions critiques, telles que le ratio Ag/Sn, et permet de mesurer et d’identifier avec précision des micro-bumps de soudure individuels de moins de 5 µm de diamètre.
En combinant plusieurs techniques analytiques sur une seule plateforme, le ONYX 3200 réduit les temps d’inspection, améliore le contrôle des procédés et augmente les rendements en production avancée de semi-conducteurs.
Capacité source optimisée
- Mesure de micro-bumps individuels pour le suivi des procédés
- Rendement élevé et amélioration du débit
- Analyse précise de l’épaisseur et de la composition des métaux
- Sensibilité maximale pour l’analyse des couches (épaisseur et composition)
ONYX 3200 Features
- La configuration μXRF à double tête offre une grande flexibilité analytique pour des performances optimales selon les applications
- Optiques μXRF monochromatiques et polychromatiques
- Rayons X de faible puissance ; non destructif
- Configuration d’excitation verticale focalisée
- Ensemble de quatre détecteurs à dérive de silicium (SDD) avec une grande surface active et une résolution améliorée
- Analyse de composition et mesures d’épaisseur
- Calibration entièrement automatisée assurant stabilité, répétabilité et correction du vieillissement du tube
- Plateforme de mouvement avancée pour une précision submicronique
- Idéal pour la métrologie en ligne en production à grand volume (HVM)