Detecteur STEM

Détecteur STEM à semi-conducteur à diode PN rétractable est configuré avec quatre diodes de champ sombre (DF) câblées en deux paires et une seule diode de champ clair (Bright Field). Le système peut fonctionner en mode BF, DF (Dark Field) ou contraste de phase DF, ainsi qu’en mélangeant les segments, DF+BF par exemple.

Douze grilles de 3 mm peuvent être montées sur le support de grille STEM standard, ce qui permet d’analyser plusieurs échantillons. Un bras rétractable équipé de l’électronique Deben Gen5 permet d’utiliser le détecteur STEM avec tout MEB (MEB de table Hitachi) doté d’un port de chambre libre et d’une entrée vidéo AUX. Le support de grille à 12 positions est compatible avec les sas et est fourni avec une queue d’aronde ou une luge, selon les besoins.

L’assemblage du détecteur STEM utilise une seule diode de champ clair et une diode de champ sombre à 4 éléments. Les performances de cette conception sont telles qu’elle s’est avérée aussi efficace sur les MEB à FEG que sur les MEB à tungstène. L’ensemble détecteur STEM s’insère sous le support de grille et est réglable en X, Y et Z. Les diodes de champ sombre sont configurées de manière à pouvoir fonctionner en mode champ sombre complet ou en mode contraste de phase de champ sombre.

L’électronique du Deben Gen5 est configurée avec quatre canaux d’entrée et un seul canal de sortie vidéo (deux ou trois sorties vidéo simultanées en option).

Les possibilités de réglage inégalées dont dispose l’opérateur permettent alors de prendre des images hautement optimisées.

Caractéristiques

• Diode à champ clair unique et à champ sombre à quatre éléments
• Modes d’imagerie : Champ clair, champ sombre, contraste de phase du champ sombre ou signal mixte.
• Amplification de 8 000 000 à 1
• Fonction unique de FIND d’image
• Hautement reproductible
• Paramètres multiples pour l’optimisation de l’image
• Un canal de sortie (trois en option)
• Entrée vidéo AUX requise sur le SEM pour une relecture vidéo synchronisée
• Imagerie TV de bonne qualité
• Contrôle par PC (compatible avec Windows XP/7.0 Professional 32/64bit)Connectivité RS232 ou USB
• Versions OEM disponibles (y compris la bibliothèque DLL pour l’intégration du logiciel)

Insertion motorisée en option

Le bras motorisé offre trois positions : inséré, stationné (semi-rétracté), ainsi que complètement rétracté. L’alignement des positions du détecteur est normalement meilleur que 20µm. La motorisation est particulièrement utile lorsque le détecteur est monté dans une position peu pratique, comme à l’arrière de la colonne, ou lorsqu’il est utilisé dans un environnement dangereux, comme une « cellule chaude ».

• Alignement précis du détecteur, <20µm
• Trois positions
• Contrôle simple par ordinateur